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 QE系列电子枪采用悬浮式安装方式,可与其他辅助源配合,可实现离子化蒸汽淀积、提高膜层的致密度和牢固度。

The electron gun which adopts suspending assembly can achieve ionized evaporation deposition with other aid sources, to improve the film's compactness and fastness.